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PAS5500一共有10个左右的子系统:镜头组、光罩机械手、晶圆装卸器、电动晶圆台等,每一模块都会逐一展示。
将所有模块拆开大概需要一整天的时间,当然,我们团队对设备拆装已经非常熟练了,今天的展示已经详细安排到每一分钟。
组装团队也将得到展示时间,最后,他们会把所有模块拼回去。”
很快地,搞技术的人和搞商业的人就变得泾渭分明起来。
赵德彬这是第一次看拆光刻机,还是在这么近的距离下,光刻机的吸引力比大美女对他的吸引力都大。
顺理成章地,赵德彬和拉扎等技术人员就加入了AMSL工程师的战团,在不干扰人家干活的前提下,东看看、西摸摸。
至于不懂技术的桑德斯、凯茜等人,则很难把注意力持续放在光刻机上,在看了一会新鲜之后,他们就和马里斯、肖特坐到了一旁窃窃私语,似乎在谈生意上的事情。
看着看着,赵德彬心里的拆卸之火熊熊燃烧了起来,他从小就喜欢拆东西,目之所及的东西全都被他拆了个遍,就连村公社的拖拉机都没逃过毒手,当然他能活到这么大的原因是最后都给原封不动地装回去了。
经过允许,赵德彬也拿了工具,给AMSL的工程师搭了把手。
也是在这个过程中,赵德彬对PAS5500的了解飞速增长中。
到了中午吃饭的时候,赵德彬的嘴就没停下过,说得全都是令凯茜难以下咽的话。
赵德彬(兴致勃勃):
“凯茜,你知道吗?
原来PAS5500配置了一个6自由度的晶圆台,这样在各个方向和角度都能以极高精度定位晶圆。
并且,这样还能使晶圆在每次曝光时保持绝对水平,这对使光线正确聚焦光刻胶的薄层非常重要。”
凯茜:“知道了,老板。能先克制住你分享的热情,先让我把饭吃完吗?”
赵德彬:“好的,好的。”
两分钟后……
赵德彬(再次兴致勃勃):
“凯茜,你知道吗?
AMSL已经向彗普提出了要求,让彗普开发5自由度的干涉仪,以便实时跟踪所有晶圆台的运动,关键是确保在曝光期间,整个焦平面与晶圆上的光刻胶层重合。
垂直对准1微米厚的光刻胶层,并在单侧22毫米的图像场上使其保持水平,这就像将足球场那么大的面积垂直对齐到1毫米的高度。
为此,Natlab开发了一个高度计,可以确定从镜头到晶圆的距离以及所有角落的偏差,蔡思会负责开发相关的光学元件。”
凯茜(太阳穴突突直跳):“我就不应该跟你坐在一起,我应该让AMSL的技术总监跟你一桌,我相信你们之间会有说不完的话。”
赶在赵德彬再次张口吐出“晶圆”、“光刻”一类的词汇之前,凯茜决定以毒攻毒:
“关于设备构造和原理,你在上午已经看得差不多了,下午没必要再看了。
午饭后,我们会展开首轮关于价格的谈判,你作为实际的决策者和出资人,需要出席会议。”
赵德彬登时就不再说话了。
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