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然后,王院长笑眯眯地对着徐端颐说道:“徐教授,这位是元亨集团的副总裁张思明张总,这次过来是专门了解你的光刻机项目的。”
徐端颐以为张思明是来买光刻机的,便很老实地说道:“张总你好,真是不巧,我们光刻机项目已经终止了,项目组都解散了,已经生产不了光刻机了,我现在都转去研究光盘了……”
系主任连忙出来打圆场:
“哎~老徐,你光盘的科研项目贷款不是还没批下来吗?
反正连开始都没开始,先放一放也不打紧。
元亨集团的赵德彬赵总你总该知道吧?
赵总想在洪港建晶圆厂,这可是好几亿丑元的大项目呢!
这不,张总听说你们团队会造光刻机,就想请你们团队过去,专门造光刻机。”
“那我这光盘……”
“别光盘了,光刻机才是大事,解散的人可以把他们叫回来!”
见徐端颐始终一脸难以置信的表情,张思明又把对俞忠钰的那套说辞搬了出来,并且再次显摆了一回拉扎的486,让众人感受一波赵德彬的“钞能力”。
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至此,徐端颐才相信了元亨集团是真的有实(财)力支持光刻机研究。
待众人落座后,徐端颐对张思明缓缓说道:
“张总,我们团队是一个很大的团队,成员来自学校五个系,人数多达上百人。
我们团队是1971年组建的,只用了一年多,就研发出了中夏第一台光刻机和分步重复照相机,这个成果在1978年获得全国科技大奖。
从1975年开始,我们采用了直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法,开始研发‘自动对准分步投影光刻机’。
前后历时五年,我们在1980年研制出了中夏第一台‘自动对准分步投影光刻机’,这是咱们中夏第二代光刻机,获得过国都首届科技成果一等奖。
第二代光刻机在当时已经能批量生产,最细可以加工0。8微米的线,能在单晶片上刻下精细准确的集成电路,填补上了国内的技术空白。
在1987年,我们团队又开始研发更先进的第三代光刻机。
当时我们瞄准的是国际先进水平,设计标准是很高的,可光刻的芯片最大面积为10x10平方毫米,实际有效分辨率为1。25微米,工作台行程160x160毫米,可加工4至6英寸的晶片。
去年年底,第三代光刻机研发成功了。
我们一共生产了三台,一台留在我们学校的研究所,一台给了中夏科学院109所,一台给了国都半导体器件厂。
经过大量的实验,我们第三代光刻机与上一代相比,成品率提高了27%。
我们的成果报上去以后,上面非常重视,领导亲自到学校里考察。
到了今年1月,上面召集了一大批权威专家,在学校里组织了一场规模很大的鉴定会,对我们团队的第三代光刻机进行鉴定,由物理学泰斗王首武先生担任评审组组长,上面的领导也来了好多。
鉴定会的每一环节都特别严格,我在水木这么久,这样的排场还是第一次见。
王守武先生很肯定我们发明的‘在光刻掩模上增加保护膜’这一新方法,还帮我们介绍了一家丑国公司合作生产。
这之后,我们的第三代光刻机连同使用的镜头一起获得了‘国家科技成果奖’,我们学校也成为了国内唯一一个能够自主研发高端光刻机的单位。
能得到王首武先生的赞赏是一件非常难得的事,而且我们的第三代光刻机也通过了非常严苛的鉴定,还接到了很多国内单位的订单,这让我们非常高兴,还以为国产光刻机的前景一片光明,很快就能追上国际一流水平。
万万没想到,我们统共只高兴了两个月。
等到今年3月,国内各单位纷纷取消了订单,就连跟我们长期合作的中夏科学院109所也不要我们的设备了。
如此一来,我们的光刻机没了市场,根本卖不出去,上面和学校也不再拨给我们经费,我们的研究项目也不得不中止,现在组里成员都已经解散了。
光刻机项目没了以后,我只好转去光盘研究。”
说到这里,徐端颐长长地叹了口气,脸上一片愁云惨淡。
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