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第404章 把人逼疯的蔡思二2合1（第2页）

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第一个关于透光率的问题，最早是由镁光（Mi）发现的：

AMSL的PAS5000使用的时间越长，镜头能透过的光量就越少，这会严重影响镁光的产量。

经过调查，AMSL发现这是因为碳化合物沉积在镜头玻璃上导致的。

而且，在ICM已经运行两个月的光刻机镜头上，也发现了同样的化合物。

诡异的是，碳污染只出现在PAS5000和PAS5500当中，PAS2500及之前的设备就不存在这个问题，而这所有的机器镜头用的都是相同的材料和胶水。

不止是镁光和ICM，湾积电也遇到了同样的问题，这是理所当然的，在过去两年当中，几乎所有的PAS5000都卖给了镁光和湾积电。

幸好从PAS5000起，AMSL采用的是可拆卸的标准化系统，镜头出问题后可以随时替换，AMSL才不至于步上CGA的后尘。

不然，单是这个问题，就足以让AMSL关门大吉。

于是，从1990年开始，一个又一个镜头从镁光和湾积电的工厂送回了AMSL，又从AMSL运回了蔡思。

结果，到了PAS5500，这个问题还没有解决，这使AMSL本来就不响亮的名号更加岌岌可危，蔡思的名声更有种臭不可闻的趋势。

然而，透光率问题并不是唯一吓跑ICM的原因，在ICM的工厂当中，最近又发现了一个新问题，这使马里斯等人几乎要抓狂，恨不得把蔡思的人掐死。

马斯里的话像一个大逼兜，狠狠地甩在蔡思众人的脸上，研发实验室负责人凯撒的一身汗瞬间就下来了。

凯撒惊恐地回答：

“马里斯先生，我们已经找到了污染产生的原因。

在I线镜头柱中，我们使用了一种会挥发碳化合物的胶水，碳化合物会与镜头柱里面的低压氦混合，并且，光刻机中的高能紫外线会使混合物发生反应，附着在玻璃上。

同时，镜头是用胶水将两种不同的玻璃粘合在一起，所以I线镜头还存在双光问题，受到紫外线的影响，连接处会发生反应，导致颜色发生变化。”

ASML物理部主管麦腾斯气势汹汹地指责道：

“镁光、湾积电和ICM的光刻机都是24小时不间断工作，这导致有碳沉积速度很快，双光层也很容易变色。

拜各位所赐，一组镜头时常只用了一个月就无法正常工作了。

我马上就要到这几家客户所在地道歉，你们必须承担这个责任，跟我一起上门解释这个问题！”

麦腾斯的话令蔡思的人如坐针毡，凯撒的脸色当即变得惨白——他已经知道这个一起去道歉的倒霉蛋就是他了。

研究员格林格好心救场，他向每个人分发了一张图表，谢天谢地，上面有与德文对照的英文：“经过我们的试验，如果在氦气中适当加入一些氧气，碳层就会消失了。”

接下来，就是技术人员之间的争论，涉及到的多是光化学反应的问题，赵德彬完全听不懂德语，需要工程师随时翻译和解释，有时还需要请工程师将英文单词写到纸上，但他的兴趣很是浓厚，听得津津有味。

鉴于蔡思的人几乎找到了第一个问题的解决方法，关于这项问题的争吵只持续了两个小时，随后，蔡思表示要试验一下讨论出的新方法。

话题又转到了第二个问题上来。

这一次，出问题的是PAS5500的镜头：

ICM的人经过精密而严谨的调查后发现，光刻0。5微米的芯片所用镜头误差经常非对称地放大。

然而，不管是ICM的人，还是AMSL的人，又或是蔡思的人，都搞不清楚是什么原因导致了这个问题。

于是，蔡思立刻表演起了拿手好戏——矢口否认：“不，我不是，我没有，别瞎说，我们的质量没问题。”

为了向AMSL的人证明自己是无辜的，蔡思将最优秀的工程师和数学家派了出来，甚至连赫尔·格拉策尔都加入了这场战争。

在等级森严的蔡思，数学家的地位无疑是最高的，他们每个人都有着宽敞明亮的办公室，就连午餐时间都要比别人来得长；他们依旧保持着旧贵族下午茶的习惯，下午四点可以停止工作，和秘书悠闲地喝一杯雪利酒。

而在蔡思数学家中最为杰出的，就是格拉策尔。

这位身穿三件套灰色套装的蔡司首席光学专家为众人做了一个精妙的数学演讲，他给出了许多复杂的数学公式，从光线扭曲的类型开始分析，一直讲到该如何测量它们，每一个标点符号都在说明：蔡思是严谨的，蔡思的镜头不可能有问题。

随后，蔡思杰出的工程师们开始轮番上阵，他们苦苦解释：“我们的镜头是在旋转对称系统中加工的，误差肯定不是我们造成的。”

架构师林克愤怒地拍案而起：“那这些误差究竟是哪来的？”