书香小说网

手机浏览器扫描二维码访问

第374章 参加会展买al买光刻机（第3页）

“先生，你好。

现在展出的是我们公司在今年3月上市的新型号，PAS5500，这可以称得上是一款划时代的产品。

PAS5500是一款高吞吐量I线步进机，它采用365纳米波长的光，能够实现280纳米分辨率。

它利用5倍的缩小和投影功能，通过步进和重复将光掩模图案转移到用户基板上。

目前，市场上只有我们这款设备是I线的，其他公司，包括霓康和嘉能的设备都是G线的。

并且，我们的设备可以处理8英寸的晶圆，这可以显着提高效率，并且降低成本。

另外，我们有全自动晶圆处理系统，可以容纳从直径200毫米的晶圆到小块的基板。

前不久，ICM位于XX市东菲什基尔晶圆厂刚刚采购了一批我们的设备，用于建造8英寸晶圆生产线。”

这里所说的“I线”和“G线”指的是不同类型的光刻胶，这是根据曝光光源波长来分类的：

G线对应着436nm的波长，应用于6寸晶圆、

I线是365nm，用于6寸、8寸晶圆、

深紫外，也就是DUV，包括KrF248nm（用于8寸晶圆）和ArF193nm（12寸晶圆）、

以及我们熟知的极紫外（EUV），用于12寸晶圆。

这也是光刻机的演进方向。

在1991年，大多数的光刻机还是第一代G线设备，第二代I线设备暂时只有AMSL这款PAS5500。

后世，动不动上亿丑元的光刻机指的就是EUV。

而之所以半导体厂商都在追求越来越大的晶圆尺寸，这是因为晶圆的面积越大，浪费的边角料越少，实际上能得到的Die（晶粒）更多。

比如，在1988年，为实现从碟子大的6英寸到餐盘大的8英寸的升级，ICM豪掷10亿丑元，研发了世界第一条8英寸晶圆生产线以及配套工艺，就因为8寸晶圆的面积是6英寸的1。77倍。

后世，晶圆大小已经发展到了12英寸。

赵德彬对这款设备很感兴趣，他问道：“叠加精度和数值孔径是什么？产量怎么样？”

“叠加精度40纳米，数值孔径是0。48至0。60，产量是每小时84片晶圆。”

“嗯，不错，”赵德彬点点头，他感觉这就是他想要的设备。

见状，凯茜很有眼色地到一旁给桑德斯和拉扎打电话。

注释一：

为了争夺世上最漂亮的女人海伦，引发了长达十年的特洛伊战争，也就是“木马”的出处。

·

另外，最近少的字数下个周补上。

喜欢重生之互联网致富手册请大家收藏：（www。aiquwx。com）重生之互联网致富手册