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第380章 al的救命稻草（第3页）

PAS5500一共有10个左右的子系统：镜头组、光罩机械手、晶圆装卸器、电动晶圆台等，每一模块都会逐一展示。

将所有模块拆开大概需要一整天的时间，当然，我们团队对设备拆装已经非常熟练了，今天的展示已经详细安排到每一分钟。

组装团队也将得到展示时间，最后，他们会把所有模块拼回去。”

很快地，搞技术的人和搞商业的人就变得泾渭分明起来。

赵德彬这是第一次看拆光刻机，还是在这么近的距离下，光刻机的吸引力比大美女对他的吸引力都大。

顺理成章地，赵德彬和拉扎等技术人员就加入了AMSL工程师的战团，在不干扰人家干活的前提下，东看看、西摸摸。

至于不懂技术的桑德斯、凯茜等人，则很难把注意力持续放在光刻机上，在看了一会新鲜之后，他们就和马里斯、肖特坐到了一旁窃窃私语，似乎在谈生意上的事情。

看着看着，赵德彬心里的拆卸之火熊熊燃烧了起来，他从小就喜欢拆东西，目之所及的东西全都被他拆了个遍，就连村公社的拖拉机都没逃过毒手，当然他能活到这么大的原因是最后都给原封不动地装回去了。

经过允许，赵德彬也拿了工具，给AMSL的工程师搭了把手。

也是在这个过程中，赵德彬对PAS5500的了解飞速增长中。

到了中午吃饭的时候，赵德彬的嘴就没停下过，说得全都是令凯茜难以下咽的话。

赵德彬（兴致勃勃）：

“凯茜，你知道吗？

原来PAS5500配置了一个6自由度的晶圆台，这样在各个方向和角度都能以极高精度定位晶圆。

并且，这样还能使晶圆在每次曝光时保持绝对水平，这对使光线正确聚焦光刻胶的薄层非常重要。”

凯茜：“知道了，老板。能先克制住你分享的热情，先让我把饭吃完吗？”

赵德彬：“好的，好的。”

两分钟后……

赵德彬（再次兴致勃勃）：

“凯茜，你知道吗？

AMSL已经向彗普提出了要求，让彗普开发5自由度的干涉仪，以便实时跟踪所有晶圆台的运动，关键是确保在曝光期间，整个焦平面与晶圆上的光刻胶层重合。

垂直对准1微米厚的光刻胶层，并在单侧22毫米的图像场上使其保持水平，这就像将足球场那么大的面积垂直对齐到1毫米的高度。

为此，Natlab开发了一个高度计，可以确定从镜头到晶圆的距离以及所有角落的偏差，蔡思会负责开发相关的光学元件。”

凯茜（太阳穴突突直跳）：“我就不应该跟你坐在一起，我应该让AMSL的技术总监跟你一桌，我相信你们之间会有说不完的话。”

赶在赵德彬再次张口吐出“晶圆”、“光刻”一类的词汇之前，凯茜决定以毒攻毒：

“关于设备构造和原理，你在上午已经看得差不多了，下午没必要再看了。

午饭后，我们会展开首轮关于价格的谈判，你作为实际的决策者和出资人，需要出席会议。”

赵德彬登时就不再说话了。

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